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北京科華248nm光刻膠通過中芯國際等客戶認證,南大光電193nm光刻膠處于研發階段
更新時間:2019-5-29 15:20:18  
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今日,南大光電在互動平臺上表示,參股公司北京科華開發的248nm光刻膠目前已通過包括中芯國際在內的部分客戶的認證。
  
  此外,南大光電透露,193nm光刻膠處于研發階段,產業化同步進行,進展順利。公司組建專職的研發團隊,建成1500平方米的研發中心和百升級光刻膠中試生產線,產品研發進展和成果得到業界專家的認可。成立了“寧波南大光電材料有限公司”,全力推進“ArF光刻膠開發和產業化項目”的落地實施。工廠建設完成了所有樁基工程,重要設備的購置正在洽談中,項目產業化基地建設順利。
  
  北京科華官網顯示,它是一家中美合資企業,成立于2004年,產品覆蓋KrF(248nm)、I-line、G-line、紫外寬譜的光刻膠及配套試劑,產品打入了中芯國際、華潤上華、杭州士蘭、吉林華微電子、三安光電、華燦光電、德豪光電等供應體系。
  
  南大光電被視作國產光刻膠希望之一,主要有MO源、電子特氣、光刻膠三大業務板塊。
  
  2015年9月,南大光電入股北京科華并對外宣稱,雙方將共同開展193nm光刻膠的研究與產品開發。
  
  當時,南大光電副總經理許從應表示,北京科華248nm光刻膠項目成功,為193nm光刻膠產業化提供了工程化團隊與工程化技術的基礎。193nm光刻膠在國際上是成熟產品,在現有基礎上,通過國家支持以及北京科華和南大光電合作,引進人才等措施,193nm光刻膠產業化項目的成功是大概率事情。
  
  根據北京科華與南大光電的計劃,2016年~2017年將完成193nm干式光刻膠的研發工作,產品達到客戶送樣驗證要求,2018年產品通過客戶驗證;在193nm浸沒式光刻膠方面,2017年~2018年完成研發工作,達到客戶送樣驗證要求,2019年~2020年產品通過客戶使用驗證,而后逐漸形成批量銷售。
  
  不過,雙方的合作遲遲沒有進展,直到2018年12月,南大光電宣布使用部分超募資金投資“ArF光刻膠產品的開發與產業化”項目。而在該項目中,也沒有北京科華的身影。
  
  2018年1月,南大光電與寧波經濟技術開發區管理委員會簽訂投資協議書,南大光電擬在寧波開發區投資建設高端集成電路制造用193nm光刻膠材料以及配套關鍵材料研發及生產項目;11月2日,該項目正式開工。
  
  據悉,該項目將形成年產25噸ArF(干式和浸沒式)光刻膠產品的生產能力,項目總用地面積約86畝,其中一期總投資預計約9.6億元,于2020年開始產業化,達產后年產值約3.75億元。同時,南大光電還將建立國內第一個專業用于ArF光刻膠產品開發的檢測評估平臺。
 
來源:北京科華        
 
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